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中国首台ASML NXT2000i正式入驻SK海力士无锡工厂

集微网消息,12月19日晚间,中国首台ASML NXT2000i正式搬入SK海力士位于无锡的工厂。

ASML证实,此次入驻SK海力士无锡工厂确为NXT2000i,也即NXT2000。ASML解释道,i是immersion的意思。NXT2000都是immersion的机器。所以NXT2000即NXT2000i

据了解,无锡是SK海力士在中国的DRAM内存芯片生产基地,目前每月晶圆的产量约为14万片。

同时,SK海力士还成立了SK Hynix System IC公司,开始进军晶圆代工市场,同时增加1000万美元投资,在无锡扩大模拟IC芯片业务。

 

今年8月份曾有消息表示,ASML已经开始出货新品Twinscan NXT2000i DUV(NXT2000i双工件台深紫外光刻机),可用于7nm和5nm节点。

NXT2000i将是NXE3400B EUV光刻机的有效补充,毕竟台积电/GF的第一代7nm都是基于DUV工艺。

同时,NXT2000i也成为了ASML旗下套刻精度(overlay)最高的产品,达到了和3400B一样的1.9nm(5nm要求至少2.4nm,7nm要求至少3.5nm)。

当时ASML只表示这款性能出众的光刻机将于本年度末正式量产,尚未确定光刻机的价格。根据媒体的估计,按照目前ASML的定位,这款光刻机的定价应该在几千万至上亿美元之间。ASML的3400B EUV光刻机的报价是1.2亿美元一台,而14nm节点的光刻机报价则在7200万美元。

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